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沈陽高新區(qū)企業(yè)拓荊科技今日科創(chuàng)板上市 打造半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)軍企業(yè)
來源：高新院 achie.org 日期：2022-04-20 點(diǎn)擊：次
4月20日，拓荊科技股份有限公司（以下簡稱“拓荊科技”）首次公開發(fā)行股票并在上海證券交易所科創(chuàng)板上市。拓荊科技成為繼芯源微電子、成大生物后，沈陽市第三家科創(chuàng)板上市公司，也是繼何氏眼科之后，沈陽市今年第二家上市公司。
拓荊科技成立于2010年，主要從事高端半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和技術(shù)服務(wù)。公司聚焦的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備與光刻機(jī)、刻蝕機(jī)共同構(gòu)成芯片制造三大主設(shè)備。公司主要產(chǎn)品包括等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備、原子層沉積（ALD）設(shè)備和次常壓化學(xué)氣相沉積（SACVD）設(shè)備3個(gè)產(chǎn)品系列，是國內(nèi)唯一一家產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的集成電路PECVD、SACVD設(shè)備廠商，也是國內(nèi)主要的量產(chǎn)型ALD設(shè)備供應(yīng)商。
拓荊科技是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)重要的領(lǐng)軍企業(yè)之一，3次獲得中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)頒發(fā)的“中國半導(dǎo)體設(shè)備五強(qiáng)企業(yè)”稱號，產(chǎn)品已成功應(yīng)用于中芯國際、華虹集團(tuán)、長江存儲(chǔ)、長鑫存儲(chǔ)、廈門聯(lián)芯、燕東微電子等行業(yè)領(lǐng)先集成電路制造企業(yè)生產(chǎn)線，產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)已達(dá)到國際同類設(shè)備水平，并已展開10nm（納米）及以下制程產(chǎn)品驗(yàn)證測試。據(jù)悉，拓荊科技將借登陸科創(chuàng)板重要契機(jī)，進(jìn)一步提升科技研發(fā)能力，提高產(chǎn)品性能和技術(shù)水平，不斷做強(qiáng)主業(yè)，將公司打造成半導(dǎo)體制造薄膜沉積設(shè)備領(lǐng)軍企業(yè)。
